Нанотехнологии в микроэлектронике
Книга "Нанотехнологии в микроэлектронике"
Издатель: Наука
Год издания 2019
Страниц: 511
ISBN: 978-5-02-040201-0
Описание
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. .Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля. .
Характеристики
- Наименование Нанотехнологии в микроэлектронике
- Категория Книги/Профессиональная литература/Автоматика. Радиоэлектроника. Связь
- Издатель Наука
- Год издания 2019
- Всего страниц 511
- ISBN 978-5-02-040201-0
- Способ получения Доставка, самовывоз
- Тип Книга
- Продавец Читай-город
- Оригинальная цена 1599 RUB
- Актуальность 05.11.2026
Еще в этой категории
Другие интернет-магазины
