Основы конструирования МЭМС-датчиков

ФОТО ДОСТАВКА ОТЗЫВЫ ▼ Подробнее

28 424 тг.Скидка: 17%

23 686 тг.

В МАГАЗИНЧитай-город

Найдено в: Читай-город
* 4399 RUB цена
Возможен самовывоз

Найти похожие на AliExpress

на Joom

Книга "Основы конструирования МЭМС-датчиков"

Авторы: Юрий Михайлович Кернасовский

Издатель: Инфра-Инженерия

Год издания 2027

Страниц: 460

ISBN: 9785972933792

Описание

Посвящена развитию, проектированию и технологиям изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), включая устройства космического назначения. Рассматриваются конструкции и принципы работы датчиков теплового потока, тепловых акселерометров и инфракрасных датчиков на основе термоэлектрического эффекта, а также их области применения и способы повышения технических характеристик. Значительное внимание уделено численному моделированию, снижению шумов, выбору материалов и конструктивно-технологическим решениям. Отдельные главы описывают микрообработку кремниевых и полимерных структур, фотолитографию, травление, осаждение материалов, соединение пластин и технологии 3D-МЭМС. Завершается работа анализом корпусов для микроэлектронных изделий и требований к корпусированию МЭМС-устройств. Для специалистов в области МЭМС. Будет полезно студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов, специализирующихся в области микросистемной техники и ее многочисленных приложений.